简约数据可视化风格晶圆制造工艺节点能耗对比多色分层

帮我生成图片：以下是一组结构化数据，请你基于数据生成一张准确、清晰、符合数据可视化基本原则的图表。 单位：兆瓦时/晶圆 工艺节点 晶圆准备 图形转移（光刻） 薄膜沉积 干法刻蚀 掺杂 其他（厂务系统） 总能耗 28 nm 0.018 0.126 0.108 0.09 0.018 0.24 0.6 7 nm 0.045 0.315 0.27 0.225 0.045 0.6 1.5 5 nm 0.06 0.42 0.36 0.3 0.06 0.8 2 3 nm 0.069 0.483 0.414 0.345 0.069 0.92 2.3